Filtration in der Solarindustrie (Photovoltaik / PV)

Recycling von Prozessfluiden und Abwasseraufbereitung

Seit 2006 ist Atec mit seinen Lösungen zur Wasseraufbereitung in verschiedenen Bereichen zur Herstellung von Silizium-Solarwafern tätig: Angefangen bei der Standzeitverlängerung von Reinigungsbädern über das Recycling von Sägefluiden / Kühlschmierstoffen bis hin zum Abtrennen von Silizium und der Abwasseraufbereitung.

Aus den vielfältigen Aufgaben aus diesem Gebiet sind untenstehend einige genauer beschrieben. Für Ihre Fragen und zur Diskussion möglicher weiterer Aufgabenstellungen nehmen Sie bitte Kontakt mit uns auf.

Diamantdrahtsägeprozess zur Waferherstellung

Die verschiedenen Diamantdrahtsägeprozesse, welche das bisherige Slurry-basierte Verfahren ablösen, erfordern auch im Bereich des Equipments und der Verfahren zum Recycling der Prozessfluide bzw. zur Abwasseraufbereitung jeweils neue Lösungen. Diese hat sich Atec in Zusammenarbeit mit führenden Herstellern der Branche in den letzten Jahren erarbeitet.

Kühlschmierstoff-Recycling

Um einen wasserbasierten Kühlschmierstoff (Sägefluid) im Prozess wieder verwenden zu können müssen einerseits störende Siliziumpartikel sicher abgetrennt und andererseits die erwünschte Bestandteile des Kühlschmierstoffs im Fluid belassen werden. Unter anderem die Trenngrenze der verschiedenen eingesetzten Membranen ist hier wichtig. Entscheidend für den wirtschaftlichen Einsatz ist die hohe erzielbare Querströmung der Atec-Filtrationsanlagen, die den Aufbau einer Deckschicht auf den Membranen minimiert und den Filtratfluss lange aufrecht erhält – auch bei hoher Feststoffkonzentration.

Vorteile des Kühlschmierstoff-Recyclings

  • Optimale und konstante Produktionsbedingungen
  • Hohe Produktqualität
  • Einsparung von Chemikalien
  • Einsparung von Frischwasser
  • Einsparung von Entsorgungskosten
  • Reduzierung der Umweltbelastung

CSB-Reduktion im Abwasser

Andere Herausforderungen werden an die Wasseraufbereitung gestellt, wenn der Wafer-Hersteller einen Diamantdrahtsägeprozess mit nur einmaliger Nutzung des Kühlschmierstoffes fahren will. Hier gilt es neben der Abtrennung des Siliziums meist die Einleitwerte des Abwassers insbesondere hinsichtlich des CSB-Wertes einzuhalten. Spezielle Atec-Filtrationsanlagen, die mit Nanofiltrationsmodulen (NF) ausgestattet sind, helfen dieses Ziel zu erreichen.

Atec bietet zentrale Aufbereitungsanlagen und Stand-alone Lösungen

Für die Aufbereitung der Prozessfluide bzw. für die Abwasseraufbereitung kompletter Produktionslinien bieten sich zentrale Aufbereitungsanlagen an. Zur Prozessentwicklung (z.B. Test neuer Kühlschmierstoff) kann Atec aber auch kleine Stand-alone Lösungen liefern, die z.B. direkt neben Diamantdrahtsägen zur Aufbereitung von Kühlschmierstoffen betrieben werden können.

Neben den Filteranlagen selbst bietet Atec auch alles weitere Equipment z.B. zur Silizium-/ Feststoffabtrennung sowie die Automatisierung der Gesamtanlage.

Vorteile der Atec Filtertechnik

  • Geringe Standfläche
  • Hohe Energieeffizienz
  • Hohe erreichbare Siliziumkonzentration durch hohe Querströmungsgeschwindigkeit